【资料图】
1、与传统的DUV评价函数不同的是，对于EUV评价函数中必须体现散粒噪声现象、掩模三维效应和倾斜入射光效应导致的严重的图形偏移。
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关键词：
天天即时：极紫外评价函数_关于极紫外评价函数概略
2023-06-02 06:57:10
来源：互联网
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